● 초순수 공정의 원수로 공급 가능한 고순도 공업용수 원수수질 급의 처리수질 확보(수질목표 TOC 1 ppm, TMAH 0.5 ppm (95%제거), SiO2 2 ppm, Urea 1 ppm)

● 생산수 기준 12 TPD 규모(RFP기준 10 TPD) 반도체 폐수 재이용 공정 파일럿 개발 및 구축을 통한 6개월 연속 운전 데이터 확보

● 원수 유입유량 대비 재이용수 생산량(회수율) 80% 달성(RFP기준 생산량 70% 이상)

● 반도체 폐수 성상 DB 구축 및 고순도 공업용 원수 최적 재이용율 의사 결정 절차 프로그램 개발

● 과학적 성과로 SCIE논문 6편 게재 (mrnIF 68이상)(RFP기준 mrnIF 60이상), 기술적 성과로 SMART 지수 B등급 이상 3건 등록 (지식재산권) 및 기술인검증 2건 달성을 목표로 함.

- 반도체 제작 공정 내 폐수처리장 활용 : 반도체 제작공정의 경우 초순수의 사용이 반드시 필요하고, 전체 공정에서 발생하는 폐수의 처리는 반도체 제조 단가를 상승시키는 요인이 됨. 하지만 폐수를 재이용하여 초순수 제작을 위한 원수로 사용가능한 장치를 개발할 경우 반도체 제조 단가를 감소시켜 시장 경쟁력 강화

- 현장적용 방안 : 연구개발 기간 중 반도체 제작 공장 내 폐수처리장의 일부 폐수를 활용하여 파일럿 플랜트의 제작 및 최적화를 수행하고, 성능이 확보되었다고 판단될 경우 용량 증설 방안을 수립하여 실용화 가능성을 검토하고자 함.

- 기술이전 : 본 연구개발 성과인 반도체 폐수 처리 및 고순도 공업용 원수확보용 파일럿 플랜트 성과를 기반으로 기술이전을 수행할 계획임. 그리고 KICT에서 개발한 4인치 분리막 모듈이 적절하다고 판단 될 경우 추후 기술이전을 하고자 함.