본 발명은 자외선 램프의 효율을 떨어뜨리는 오염층 제거를 위해 사용하는 기존의 세정 방법의 단점인 챔버 내 균일하지 못한 세정을 해결하기 위해 자외선 램프 별 OCT 실시간 모니터링을 통해 적정 세정 시기에 램프 별로 개별적인 세정을 실시하며 세정 중에 램프 표면에서 걷어지는 오염물질을 동시에 제거하여 세정 중에도 장치의 정지 없이 운영이 가능하다. 오염수가 처리되는 수처리부, 수처리부에 장착되어 오염수를 살균하는 램프부, 램프부의 오염 여부를 감지하는 센서부, 램프부의 표면에 형성된 오염물질을 제거하는 세척부, 세척부에 의해 램프부의 표면에서 분리된 오염물질을 모아서 후처리하는 회수부를 포함하여 수처리 작업을 중단하지 않고 램프부를 실시간 감시하면서 세척 작업을 할 수 있다.

[Application Number: 10-2021-0016496]